走丝线切割日益加剧的市场竞争要求模具制造周期越来越短,工业产品零件大型化和精度的不断提高要求模具日趋大型化和精密化。电火花加工技术亦要跟上这些要求。因此,快速、大型、精密、大厚度切割等都是电火花中走丝线切割加工机床今后的发展方向。当然,不断提高电火花加工机床的可靠性、继续降低电极损耗、进一步简化操作、提高自动化程度及降低机床成本,仍旧是电火花中走丝线切割加工机床的发展方向。高速铣削技术的发展促使电加工机床能加工更复杂、更精密及微细的型面和关键零件。 电火花中走丝线切割同内圆切割技术相比有其明显的弱点,一是片厚平均误差较大(约为内圆切割技术2倍)。二是切割过程中智能检测控制不易实现。三是切割过程的成功率要求较高,风险大,一但断丝而不可挽救时,直接浪费一根单晶棒。四是不能实现单片质量控制,一次切割完成后,才能检测一批圆片的切割质量,并且圆片之间切割质量也不相同。 在这些方面,内圆切割技术却显示出其优越性来。具体表现在: a自动、单片方式切换操作方便性。 b小批量多规格加工时灵活的加工可调性 c切片精度高,切片成本低,同规格级的内圆切片机价格为线切割机价格1/3~1/4,线切割机还需配置专用粘料机,每片都可调整。 d低成本的辅料(线切割机磨料及磨料液要定时更换)。 e不同片厚所需较小的调整时间,不同棒径所需较小的调整时间。 f修刀、装刀方便。 八十年代中后期人们普遍认为:随着硅晶片大片径化发展,中走丝线切割技术是硅片切割的主流技术,在规模化晶圆片切割中将取代内圆切割技术。因此人们加大了对200mm以上中走丝线切割机的研究,以解决其技术不足。
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